Plasma deposition of amorphous silicon-based materials / edited by Giovanni Bruno, Pio Capezzuto, Arun Madan

資料形態:
図書
形態:
xi, 324 p. ; 24 cm
出版情報:
Boston ; Tokyo : Academic Press, c1995
シリーズ名:
Plasma-materials interactions <BA0662742X>
書誌ID:
BA2626808X
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