Silicide thin films -- fabrication, properties, and applications : symposium held November 27-30, 1995, Boston, Massachusetts, U.S.A. / editors, Raymond T. Tung ... [et al.]

資料形態:
図書
形態:
xv, 648 p. ; 24 cm
出版情報:
Pittsburgh, Pa. : Materials Research Society, c1996
シリーズ名:
Materials Research Society symposium proceedings ; v. 402 <BA00013775>
書誌ID:
BA27777679
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