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シリコンにおける欠陥, 深準位のDLTS測定評価研究

資料形態:
図書
形態:
1 v. (various pagings) ; 30 cm
出版情報:
東京 : 材料技術資料センター, [1990?]
シリーズ名:
海外技術資料調査集 ; Data no. MY-2241(D) <BN02438846>
書誌ID:
KT20513594
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所蔵情報
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