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Low-k絶縁材料を用いたLSI配線パターンの電気的特性評価 / 新谷宣明

資料形態:
学位論文
出版情報:
福岡 : 福岡大学, 20100319
シリーズ名:
工学研究科電子情報工学専攻 <KT40041716>
書誌ID:
KT40052200
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所蔵情報
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