Micro and nano fabrication : tools and processes / Hans H. Gatzen, Volker Saile, Jürg Leuthold ; with a foreward and an introduction by Richard S. Muller

資料形態:
図書
形態:
xxvi, 519 p. ; 25 cm
出版情報:
Heidelberg : Springer, c2015
書誌ID:
KT40235092
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